半導体関連
事例概要
弊社は、温度制御が特に重要と言われる「前工程」向けで納入実績があります。
「前工程」向けでは、測定精度と応答速度の速さが要求される為、小型で高精度の測温抵抗体などのご提案が可能です。
設計例
半導体製造装置では、「超純水」、「純水」、「薬液」等にについても重要な温度制御分野となります。
感温部について、通常金属保護管が多いですが、半導体の場合、金属管の材料がほんのわずか溶け出すだけでも、最終的に製品品質に大きな影響が出てしまいます。
そのため接液部をPFA、FEP樹脂等で保護する仕様を選定する場合があります。
PFA樹脂等ふっ素樹脂を使用して測温部・ねじ一体型などの仕様にて対応可能です。
弊社営業担当にご相談下さい。
関連製品
形式ER6X-PFA-薬液用
ふっ素樹脂で金属保護管を保護し、ふっ素樹脂製被覆リード線と溶着したもので、金属が溶け出さない仕様で耐水性、耐薬液性にも優れています。保護管径が細いものも可能で応答速度に優れています。
| 種類 | 使用温度範囲 |
|---|---|
| 測温抵抗体 | 0℃〜100℃ |
形式ER6X-PFA-CF
ふっ素樹脂で金属保護管を保護し、ふっ素樹脂製被覆リード線と溶着したもので、金属が溶け出さない仕様で耐水性、耐薬液性にも優れています。ふっ素樹脂製コンプレッションフィッティング等のご提供も可能です。
| 種類 | 使用温度範囲 |
|---|---|
| 測温抵抗体 | 0℃〜100℃ |
